Display device, method for manufacturing the same, and sputtering target

表示デバイスおよびその製法、ならびにスパッタリングターゲット

Abstract

【課題】アルミニウム合金膜と透明電極が直接コンタクトすることを可能とし、バリアメタルの省略を可能にするアルミニウム合金膜を用いた表示デバイスとその製造技術を提供すること。 【解決手段】ガラス基板上に配置された薄膜トランジスタと、透明電極によって形成された画素電極と、これら薄膜トランジスタと画素電極を電気的に接続するアルミニウム合金膜によって形成された接続配線部を主たる構成要素として備えた表示デバイスとその製法を開示する。 【選択図】図2
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display device which uses an aluminum alloy film allowing elimination of barrier metal by allowing direct contact between the aluminum alloy film and a transparent electrode, and to provide a technique for manufacturing the same.SOLUTION: The display device includes, as main components, a thin film transistor arranged on a glass substrate, a pixel electrode formed of a transparent electrode, and a connection wiring portion formed of an aluminum alloy film electrically connecting the thin film transistor and the pixel electrode.

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